1 Hitach（日立） S-4800 型扫描电子显微镜培训材料 一、注意事项： 1、 严禁没有操作资格的人员操作电镜； 2、 操作人员要严格按照操作规程进行操作，在仪器产生异常时要及时报告所有事实； 3、 样品制备严格按照要求进行，特别是磁性样品； 4、 严禁在实验室吃东西，保持实验室清洁卫生； 5、 不允许在实验室内使用水槽； 6、 禁止在实验室内使用产生大量粉尘的物质； 7、 不得在实验室内大声喧哗、扰乱正常工作； 8、 注意实验室内湿度应该在 60%以下，注意下水管漏水情况。 培训加考核共 6 个半天。必须按时到场，认真学习，不允许半途离开。培训考核结束之后，每人进行操作的前两次必须有熟练人员陪同，并要求陪同人员在使用登记表上签字。 2 电镜操作的第一前提是要保证人身安全，第二前提是保证仪器设备安全。 第一次培训内容：熟悉 S-4800 的开机、进样、取样、关机等主要步骤。 1、 介绍冷热场发射的扫描电镜（附件一及附件二）。冷场发射电镜特点，灯丝不加热，引出电场，束流小，能量分散小，但需要高真空，有气体分子吸附。扫描电镜的基本原理。 2、 介绍 S-4800 及能谱的组成部分、电源控制。 3、 先打开循环水开关，再打开主机 Display 开关。 4、 检查离子泵 IP1、IP2、IP3 的数据并记录。 5、 进入控制主机桌面，双击图标进入 S-4800 的控制软件。 6、 每天开始工作前做 Flashing 2 一次，加电压，观察 vext 数值（例如 3.8KV），如果跟上一次做完flashing 之后的数值（例如 3.7KV）差别小于0.2KV，则记录此值。如果与上次相比差别大于0.2KV（例如本次做完flashing 后vext 数值为4.0KV），则需再做一次 flashing2，差值应该减小到0.2KV 以内，记录此vext数值。 7、 检查样品高度，样品台粘好样后，一定要用气枪把未粘牢的样品吹掉，并确定被测样品的最高处在标准范围内，不能超出标准高度，也不能低太多； 8、 如何进样： （1） 按交换舱上的 AIR（放气）按钮，向交换舱充气，听到“嘀——”的声音，可以打开交换舱。装好样品，LOCK，拉出交换杆。关上交换舱。注意样品杆一定要拉到底。 （2） 按EVAC（抽气）按钮，对交换舱进行抽气。注意观察 ECV 灯的示数，抽完会有“嘀——”的响声。 （3） 按OPEN 按钮，打开交换舱与真空舱之间的隔阀，打开后会有“嘀——”的响声。 （4） 用进样杆把样品送入真空舱，注意一定要送到底。UNLOCK，用手推住交换...
VIP
