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题目:细则 产品:OLED 封装系统 模型:LLE470-1D1P1G20 客户: 授权于: 客户: LAN 技术服务公司: 修订记录: 日期 次数 说明 作者 2002.11.30 初版 说明:本文件为机密文件 相关细则在设计过程中可能有所不同 1. 系统总览: 本系统设计用于 OLED 器件面板和后盖玻璃封装制作。所有过程或在气压下的套式箱中,或在真空中完成。气体净化系统由逻辑编程控制器(PLC)系统主控器控制。 2. 系统构造: (图略) A) 带 2 道门阀的传递室 B) 带 1 道门阀的传递室 C) 分配室 D) 干燥室(干燥剂安放室) E) UV 清洗室 F) 封装室 OLED 器件面板与后盖玻璃联结暨 UV 封装室(包括装配系统)。 G) UV 加工室 H) 装片机械手位置 I) 卸片机械手位置 J) 真空烤箱 K) 真空烤箱 3. 概要: 3-1 物件: OLED 器件玻璃 370(L)*470(W) 后盖玻璃 370(L)*470(W) 3-2 厚度: OLED 器件玻璃 0.7mm 后盖玻璃 1.1mm 3-3 应答时间: 5min 4.工艺流程: OLED 器件玻璃 4-1 传递室 A 中的机械手将OLED 器件玻璃从沉积设备递送到封装室 F(器件玻璃正面朝下)。 4-2 在封装过程中,OLED 器件玻璃由升高-手指夹持、提升,并被上层平台真空吸附。 后盖玻璃 4-3 安放后盖玻璃于盒子中,随后由 MGV 安放到真空烤箱上。 于是,在真空烤箱中,后盖玻璃被加热和抽真空 4-4 烘烤后,OLED 器件玻璃一片片地被机械手通过门阀从 H 递送到 UV 清洗室。 4-5 后盖玻璃在特定气体中 UV 光清洗,于是 E 室被干泵抽真空。 4-6 当 E 室中的气压抽到特定值时,N2 被清除。 4-7 机械手 B 从 UV 清洗室 E 中夹起一片后盖玻璃递送至干燥室 D。 4-8 干燥室 D 中有 2 台夹起和放置机械,并旋转提供干燥剂。 4-9 机械手 B 从干燥室 D 夹起后盖玻璃,送至分配室 C。 4-10 在分配室 C,4 台分配器把 UV 胶涂敷在后盖玻璃上,以便绘制图案。 4-11 在分涂有 UV 胶后,后盖玻璃被递送至封装室 F。 4-12 提升-手指夹持后盖玻璃、下沉,并安放在底座平台上。 4-13 当 2 片玻璃通过 CCD 对位在封装室后,UV 光从底部照射,于是在封装室 F 两片玻璃被封装在一起。 装配线 4-14 装配设备被递送到 UV 加工室 G。 4-15 UV 光从底部加工装配设备。 4-16 加工后,玻璃被机械手Ⅰ通过门阀从 UV 加工室递送到细分盒。...

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