题目：细则 产品：OLED 封装系统 模型：LLE470-1D1P1G20 客户： 授权于： 客户： LAN 技术服务公司： 修订记录： 日期 次数 说明 作者 2002.11.30 初版 说明：本文件为机密文件 相关细则在设计过程中可能有所不同 1. 系统总览： 本系统设计用于 OLED 器件面板和后盖玻璃封装制作。所有过程或在气压下的套式箱中，或在真空中完成。气体净化系统由逻辑编程控制器（PLC）系统主控器控制。 2. 系统构造： （图略） A） 带 2 道门阀的传递室 B） 带 1 道门阀的传递室 C） 分配室 D） 干燥室（干燥剂安放室） E） UV 清洗室 F） 封装室 OLED 器件面板与后盖玻璃联结暨 UV 封装室（包括装配系统）。 G） UV 加工室 H） 装片机械手位置 I） 卸片机械手位置 J） 真空烤箱 K） 真空烤箱 3. 概要： 3-1 物件： OLED 器件玻璃 370（L）*470（W） 后盖玻璃 370（L）*470（W） 3-2 厚度： OLED 器件玻璃 0.7mm 后盖玻璃 1.1mm 3-3 应答时间： 5min 4．工艺流程： OLED 器件玻璃 4-1 传递室 A 中的机械手将OLED 器件玻璃从沉积设备递送到封装室 F（器件玻璃正面朝下）。 4-2 在封装过程中，OLED 器件玻璃由升高-手指夹持、提升，并被上层平台真空吸附。 后盖玻璃 4-3 安放后盖玻璃于盒子中，随后由 MGV 安放到真空烤箱上。 于是，在真空烤箱中，后盖玻璃被加热和抽真空 4-4 烘烤后，OLED 器件玻璃一片片地被机械手通过门阀从 H 递送到 UV 清洗室。 4-5 后盖玻璃在特定气体中 UV 光清洗，于是 E 室被干泵抽真空。 4-6 当 E 室中的气压抽到特定值时，N2 被清除。 4-7 机械手 B 从 UV 清洗室 E 中夹起一片后盖玻璃递送至干燥室 D。 4-8 干燥室 D 中有 2 台夹起和放置机械，并旋转提供干燥剂。 4-9 机械手 B 从干燥室 D 夹起后盖玻璃，送至分配室 C。 4-10 在分配室 C，4 台分配器把 UV 胶涂敷在后盖玻璃上，以便绘制图案。 4-11 在分涂有 UV 胶后，后盖玻璃被递送至封装室 F。 4-12 提升-手指夹持后盖玻璃、下沉，并安放在底座平台上。 4-13 当 2 片玻璃通过 CCD 对位在封装室后，UV 光从底部照射，于是在封装室 F 两片玻璃被封装在一起。 装配线 4-14 装配设备被递送到 UV 加工室 G。 4-15 UV 光从底部加工装配设备。 4-16 加工后，玻璃被机械手Ⅰ通过门阀从 UV 加工室递送到细分盒。...
VIP
