ONEKEEPVIEW半导体中杂质和缺陷能级课件•半导体基础知识•杂质能级•缺陷能级目•能级对器件性能的影响•实例分析录01PART半导体基础知识半导体的定义和特性定义半导体是指导电性能介于导体和绝缘体之间的材料。特性具有热敏性、光敏性和掺杂性等特性,容易受到环境因素的影响。半导体的分类根据导电类型分类N型半导体和P型半导体。根据元素组成分类元素半导体和化合物半导体。根据应用分类集成电路半导体、太阳能电池半导体等。半导体中的能带结构01020304满带导带空穴带能级交错最高能带,无电子。最低能带,存在自由电子。中间能带,存在自由空穴。不同原子之间的能级交错分布,形成能级分裂。02PART杂质能级杂质元素的分类施主杂质受主杂质复合中心杂质深能级杂质如磷、砷,在半导体中如铁、钴、镍等,其能级位置深入到禁带中,对载流子有散射作用。如硼、碳,占据禁带中如金、铜,对电子和空占据导带底附近的位置,提供正电中心。的浅能级,提供负电中心。穴有俘获和再释放的作用。杂质在半导体中的行为固溶偏聚杂质原子替代晶格中的原子,成为晶体的一部分。杂质原子在晶体的一侧聚集。聚集反偏聚杂质原子在晶体中形成团簇。空位在晶体的一侧聚集。杂质能级在能带结构中的位置01020304施主杂质能级位于导带底附近,为电子可占据的能级。受主杂质能级位于价带顶附近,为空穴可占据的能级。复合中心杂质能级位于禁带中任意位置,取决于具体的复合中心。深能级杂质能级深入到禁带中,位置取决于具体的深能级杂质。杂质对半导体性能的影响改变载流子浓度和迁移率影响光学性能施主和受主杂质影响载流子浓度,从而影响半导体的导电性能。杂质影响半导体的光吸收和发光特性。产生散射中心影响热稳定性深能级杂质和复合中心杂质对载流子有散射作用,影响载流子的迁移率。某些杂质可以增强半导体的热稳定性。03PART缺陷能级缺陷的分类点缺陷线缺陷在晶体中占据一个位置的缺陷,如空晶体中的直线排列的缺陷,如位错。位、间隙原子等。面缺陷体缺陷晶体表面或近表面的缺陷,如晶界、晶体内部的宏观尺度缺陷,如气泡、杂质等。台阶等。缺陷的形成和来源热平衡缺陷010203在晶体生长过程中,由于温度和压力的变化,导致原子排列不规整,形成缺陷。非热平衡缺陷在晶体生长过程中,由于各种原因(如杂质、辐射等)引入的额外原子或结构缺陷。加工和制备过程中引入的缺陷如切割、研磨、抛光等过程中引入的表面损伤和内部微裂纹等。缺陷在半导体中的行为缺陷可以作为复合中心缺陷可以影响光学性能在半导体中,电子和空穴可以与缺陷发生复合,从而影响半导体的光电性能。某些缺陷可以吸收或散射光子,从而影响半导体的光学性能。缺陷可以作为施主或受主某些缺陷可以提供电子或空穴,从而改变半导体的导电类型和导电率。缺陷能级在能带结构中的位置010203浅能级中间能级深能级靠近导带底或价带顶的缺陷能级。位于禁带中央的缺陷能级。靠近半导体带隙中央的缺陷能级。缺陷对半导体性能的影响载流子输运特性光电器件性能热稳定性缺陷可以作为复合中心或施主/受主,影响载流子的浓度和迁移率,从而影响半导体的导电性能。某些缺陷可以吸收或散射光子,影响半导体的光学性能,从而影响光电器件的性能。某些缺陷可以影响半导体的热稳定性,从而影响其可靠性。04PART能级对器件性能的影响电子传输和复合过程电子在半导体中传输时,会与杂质和缺陷发生相互作用,导致电子的能量发生变化。这些相互作用会影响电子的传输效率和速度,进而影响器件的性能。杂质和缺陷能级可以作为电子的复合中心,影响电子的复合过程。电子在复合过程中释放能量,产生光子或热能,这也会对器件的性能产生影响。能级对载流子寿命的影响载流子寿命是指载流子在半导体中存在的时间。杂质和缺陷能级对载流子寿命有重要影响。杂质和缺陷能级可以作为载流子的陷阱,使载流子在能级附近停留时间延长,降低载流子迁移率,从而影响器件的响应速度和效率。能级对器件击穿电压的影响击穿电压是指器件在击穿时所承受的电压。杂质和缺陷能级对击穿电压有重要影响。杂质和缺陷能级可以降低半导体的电阻率,使电流密度增大,从而降低击穿电...