第6章半导体存储器6.3只读存储器(ROM)6.3.1掩膜式只读存储器(MROM)MROM的内容是由生产厂家按用户要求在芯片的生产过程中写入的,写入后不能修改。MROM采用二次光刻掩膜工艺制成,首先要制作一个掩膜板,然后通过掩膜板曝光,在硅片上刻出图形。制作掩膜板工艺较复杂,生产周期长,因此生产第一片MROM的费用很大,而复制同样的ROM就很便宜了,所以适合于大批量生产,不适用于科学研究。MROM有双极型、MOS型等几种电路形式。第6章半导体存储器图6.12是一个简单的44位MOS管ROM,采用单译码结构,两位地址线A1、A0译码后可有四种状态,输出4条选择线,分别选中4个单元,每个单元有4位输出。在此矩阵中,行和列的交点处有的连有管子,表示存储“0”信息;有的没有管子,表示存储“1”信息。若地址线A1A0=00,则选中0号单元,即字线0为高电平,若有管子与其相连(如位线2和0),其相应的MOS管导通,位线输出为0,而位线1和3没有管子与字线相连,则输出为1。因此,单元0输出为1010。对于图中矩阵,各单元内容如表6.1所示。第6章半导体存储器VCCµ¥Ôª0µ¥Ôª1µ¥Ôª2µ¥Ôª3D0D1D2D3µØÖ·ÒëÂëÆ÷A0A1图6.12掩膜式ROM示意图第6章半导体存储器表6.1掩膜式ROM的内容单元D3D2D1D001010111012010130110位第6章半导体存储器6.3.2可编程只读存储器(PROM)可编程只读存储器出厂时各单元内容全为0,用户可用专门的PROM写入器将信息写入,这种写入是破坏性的,即某个存储位一旦写入1,就不能再变为0,因此对这种存储器只能进行一次编程。根据写入原理PROM可分为两类:结破坏型和熔丝型。图6.13是熔丝型PROM的一个存储元示意图。×ÖÏßλÏßDiVCC图6.13PROM存储电路示意图第6章半导体存储器基本存储电路由1个三极管和1根熔丝组成,可存储一位信息。出厂时,每一根熔丝都与位线相连,存储的都是“0”信息。如果用户在使用前根据程序的需要,利用编程写入器对选中的基本存储电路通以2050mA的电流,将熔丝烧断,则该存储元将存储信息“1”。由于熔丝烧断后无法再接通,因而PROM只能一次编程。编程后不能再修改。第6章半导体存储器写入时,按给定地址译码后,选通字线,根据要写入信息的不同,在位线上加不同的电位,若Di位要写“0”,则对应位线Di悬空(或接较大电阻)而使流经被选中基本存储电路的电流很小,不足以烧断熔丝,该位仍保持“0”状态;若要写“1”,则位线Di加负电位(2V),瞬间通过被选基本存储电路的电流很大,致使熔丝烧断,即改写为“1”。在正常只读状态工作时,加到字线上的是比较低的脉冲电位,但足以开通存储元中的晶体管。这样,被选中单元的信息就一并读出了。是“0”,则对应位线有电流;是“1”,则对应位线无电流。在只读状态,工作电流将很小,不会造成熔丝烧断,即不会破坏原存信息。第6章半导体存储器6.3.3可擦除、可再编程的只读存储器PROM虽然可供用户进行一次编程,但仍有局限性。为了便于研究工作,实验各种ROM程序方案,可擦除、可再编程ROM在实际中得到了广泛应用。这种存储器利用编程器写入信息,此后便可作为只读存储器来使用。目前,根据擦除芯片内已有信息的方法不同,可擦除、可再编程ROM可分为两种类型:紫外线擦除PROM(简称EPROM)和电擦除PROM(简称EEPROM或E2PROM)。第6章半导体存储器1.EPROM和E2PROM简介初期的EPROM元件用的是浮栅雪崩注入MOS,记为FAMOS。它的集成度低,用户使用不方便,速度慢,因此很快被性能和结构更好的叠栅注入MOS即SIMOS取代。SIMOS管结构如图6.14(a)所示。它属于NMOS,与普通NMOS不同的是有两个栅极,一个是控制栅CG,另一个是浮栅FG。FG在CG的下面,被SiO2所包围,与四周绝缘。单个SIMOS管构成一个EPROM存储元件,如图6.14(b)所示。第6章半导体存储器与CG连接的线W称为字线,读出和编程时作选址用。漏极与位线D相连接,读出或编程时输出、输入信息。源极接VSS(接地)。当FG上没有电子驻留时,CG开启电压为正常值Vcc,若W线上加高电平,源、漏间也加高电平,SIMOS形成沟道并导通,称此状态为“1”。当FG上有电子驻留,CG开启电压升高超过Vcc,这时若W线加高电平,源、漏间仍加高电平,SIMOS不导通,称此状态为...