110电子工艺技术ElectronicsProcessTechnology第3l卷第2期2010年3月LCD玻璃研磨机的工艺探讨冯振华,白变香(中国电子科技集团公司第二研究所,山西太原030024)摘要:在介绍LCD玻璃基板研磨工艺流程及关键工艺技术要求的基础上,以自行研制的YM一950玻璃研磨机为例,探讨了获得研磨后最优玻璃表面平整度与粗糙度的研磨垫粗糙度、转盘旋转速度和上下研磨盘匹配的工艺参数。在YM一950玻璃研磨机上应用这些参数试制,可高速地获得优良的表面粗糙度。关键词:研磨;平整度;粗糙度;LCD中图分类号:TN105文献标识码:A文章编号:1001—3474(2010)02—0110—03ProcessDiscussionofLCDGlassLappingMachineFENGZhen—hua,BAIBian—xiang(CETCNo.2ResearchInstitute,Taiyuan030024,China)Abstract:RegardingtheYM一950glasslappingmachinedevelopedindependentlyasanexample,introducethelappingprogressandkeytechnicalrequirements.Discusstheoptimalparameterssuchastheturntablerotatingspeed,ronghnessoflappingsheetandSOon,inordertogetexcellentflatnessandrough—ness.Makethetrialproductionbasedontheparameters,getbothhighspeedandoptimalroughness.Keywords:Lapping;Flatness;Roughness;LCDDocumentCode:AArticle玎D:1001—3474(2010)02—0110—03由于光纤传输网络具有高频宽、长距离以及高稳定性等优点,因此在光通讯领域应用愈来愈广泛。光纤传输相关技术中的许多光通讯组件,都会使用光学玻璃等级的玻璃基板做为制造原料。另外,LCD液晶显示器较CRT显示器更为轻、薄、短和小,并且更为省电,已成为显示器主流,也需要光学玻璃等级的玻璃基板做为制造原料J。在制造液晶显示基板等的玻璃基板时,玻璃表面会处于高温状态,浮游于环境中的玻璃粒子等异物(碎玻璃)极易附着在它表面;如果再经过3天~4天的长时间放置,这些异物则会黏着于玻璃表面。而且,在制作液晶显示基板时,将液晶放进两玻璃基板之间进行密封时使用的树脂封闭剂也会有附着于玻璃基板表面的情况出现。此种粘着于玻璃表面的碎玻璃或树脂等异物,很难用水清洗的方法去除。使用切削器的刀刃接触玻璃面后在玻璃面上移动可以去除玻璃基板表面异物,但此方法在切削器的刀刃接触玻璃面或在玻璃面上移动时,有时会伤及玻璃表面。针对上述的问题,我公司发明了一种新型研磨机YM一950玻璃研磨机,如图1所示,可将附着于玻璃基板表面的异物在不伤及玻璃表面的情况下去除,并且不会引起异物的再附着。其工作过程为将需要研磨的玻璃基板放置于下研磨盘上,由贴附有研磨垫的上研磨头顺时针或逆时针转动,下研磨盘也沿与研磨头相反方向运动,进行研磨。研磨时可按要求自动供给研磨液。1研磨效果的评判因素研磨后玻璃基板表面的平坦度与粗糙度是检验研磨效果的重要因素。因为玻璃基板表面平坦度与粗糙度的好坏将影响光通讯组件以及液晶显示装置的效能与品质,表面平坦度与粗糙度不佳将会造成作者简介:冯振华(1982一),男,毕业于太原理工大学,主要从事电子专用设备的研发工作。2010年3月冯振华:LCD玻璃研磨机的工艺探讨光的散射现象,使通过玻璃基板的光强度降低,而且会使加工附着在玻璃基板表面的材质脱落,并发生变形及分布不均的现象。在玻璃基板研磨时所造成的刮伤以及坑洞是造成平坦度与粗糙度不佳的重要因素。为了使研磨后的玻璃基板平坦度与粗糙度达到最优效果,需要对研磨工艺参数进行优化。图1YM一950研磨机示意图2研磨工艺参数分析本研磨机的研磨垫表面粗糙度和上下研磨盘运动速度可根据实际要求进行设定。但是,为了求得最佳研磨参数,对研磨垫表面粗糙度、研磨盘旋转速度和研磨盘运行轨迹进行了分析并得出最佳运行参数。2.1研磨垫粗糙度作为研磨垫,可以使用有机高分子系的发泡体、非发泡体和无纺布状的研磨垫,第一研磨工序适合使用仿鹿皮的聚氨酯硬质垫,第二研磨工序及最终研磨工序适合使用仿鹿皮的聚氨酯软质垫。旋转速度为300r/min下研磨垫的粗糙度为0.5m~20m的研磨效果及玻璃表面划伤情况见表l。表1研磨垫粗糙度实验结果表面粗糙度0.5O.71.03.05.O7.010.013.0l5.020.0R...