文章编号:ISSN1005-9180(200601-0063-04Ξ100级大面积电子厂房净化空调设计胡世忠(格林也科技(无锡有限公司,江苏214028[摘要]随着微电子技术的发展,相应的高洁净度厂房工程也不断增多。同时对工程的要求也不断提高,本文介绍了为某著名电脑主板企业设计的大面积100级洁净厂房的有关内容,提供设计参数,并且注重介绍干冷盘管在高洁净度厂房中的运用,该系统运行近一年,情况正常,符合规范和生产工艺要求。[关键词]洁净度,换气次数,干冷盘管,二次水循环,洁净房测试[中图分类号]TU831;TU834[文献标识码]BDesignofPurificationAir-conditioningforlargeCleanlinessClass100ElectronicalWorkshopHUShizhong(Greenairetechnology(WuxiCo1,Ltd,Jiangshu214028Abstract:Withthedevelopmentofmicro-electronics,theprojectofhighcleanlinessworkshopincreasinglygrowsup,thetechnicalrequirementisaccordinglyontherise1Herebyintroducestheconcerningdescriptionforlargecleanlinessclass100cleanworkshop,designedforarenownedcomputermainboardcorporation1Furthermore,emphaticallyintroducesDCUfunctionappliedinhighcleanlinessworkshop,thesystemworksnormallyduringthepastyear,conformingwiththecriteri2onandcraftsrequirement1Keywords:Cleanliness,Airexchangerate,Drycoilunit,Secondarywatercirculation,Cleanroomtest1概况本工程位于苏州某工业园内,厂房共有二层,每层建筑面积约36500m2。洁净厂房分阶段完成,共分4期完成。本次工程为第二期,100级洁净厂房约为2680m2,千级面积约为580m2,普通区域(testarea面积为5000m2(厂房平面图略。2设计主要参数设计主要参数见表1。3洁净空调系统设计311洁净冷负荷计算夏季冷负荷包括:维护结构冷负荷、人员冷负荷、照明冷负荷、生产设备冷负荷、新风冷负荷、风管冷损、空调机组风机负荷等。经计算:100级区域冷负荷指标为880W/m2,1000级冷负荷指标:480W/m2。普通区域(testarea冷负荷指标:600W/m2(普通区域放置测试设备,发热量较大。312100级、1000级洁净房的空调方式洁净房采用FHU+DCU+FFU的空调方式,洁净房空调及气流组织形式见图1。其中,FHU为新风机组(Freshairhandingu2nit,另外,新风机组对新风采取了初、中、高效过滤处理。新风机组包括:初效段,表冷段,中效段,加热段(厂家有热水系统,采用热盘管,加湿段(厂家有蒸气,高效段。其中,空气清洗段厂家先要求预留,以后再增加。Ξ收稿日期:2005-10-21作者简介:胡世忠(1971-,男,工程师,主要从事中央空调工程设计。E-mail:hszong@sina1com表1设计主要参数序号房间名称面积(m2洁净度温度(℃湿度(%RH换气次数(次/h照度(Lux1changroom3801K21±155±5%886002lineone105010021±155±5%37010003linetwo105010021±155±5%37010004linethree58010021±155±5%3701000图1洁净房气流组织图新风机组担负洁净房的湿度控制,保持洁净房的正压和人员新风需求。该工程新风量取35000m3/h;DCU为干表冷盘管(Drycoilunit,在每一个洁净房内的回风夹墙中,都设置了干冷盘管。干冷盘管的主要作用是对洁净房进行等湿降温,所以,通过干盘管的冷冻水的温度稍大于洁净房的露点温度,保证洁净房空气通过干冷盘管时不结露;FFU为带风机的高效过滤器(Fanfilterunit,FFU将洁净房内的通过干冷盘管冷却的回风,再与新风机组处理的新风混合后,通过FFU中的高效过滤器送到洁净房中。该洁净房地面采用1m高的导电高架地板,实现顶送底回的送风形式,进一步保证气流的垂直度的层流送风形式。该空调的方式其特点是:洁净房的湿度采用集中控制的形式,控制简单,便于控制管理。其次,采用干冷盘管的冷却方式,节约空调机房的面积,特别适合大面积大冷负荷而空调机房面积较为紧张的洁净房场所。同时,多组干冷盘管的形式有利室内温度控制,尤其当室内各负荷不均匀时,更加有利。另外,在技术夹层,也不会有冷凝水产生,不易藏污、滋生细菌等。但是,由于干冷盘管中所流动的冷冻水温要求高于洁净房的露点温度,所以水温偏高,降低了盘管的传热系数,及要求增加表冷盘管的传热面积,增加了初次投资成本。又因为,要求流入干冷盘管的冷冻水温要高于洁净房的露点温度,而冷冻...
