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1激光技术制作 SE电池方案杨正刚日期 二零一一年 七月目录1 前言............................................................................................................................31 .1SE电池原理....................................................................................................31 .2激光技术制作 SE电池的优势........................................................................322 激光 SE电池原理与设备..........................................................................................42 .1原理..................................................................................................................42 .2 设备..................................................................................................................53激光技术制作 SE电池工艺流程...............................................................................54激光技术制作 SE电池的工艺参数设计..................................................................64.1配套扩散工艺参数.........................................................................................64.2 激光二次扩散工艺参数.................................................................................65激光技术制作 SE电池的工艺关键点.......................................................................65.1扩散控制.........................................................................................................65.2 激光二次扩散控制.........................................................................................75.3激光二次扩散区域与三道印刷对准（正面银电极对准）.........................76结论............................................................................................................................731 前言1.1 SE 电池原理SE 电池是选择性扩散电池(selectiveemitter)。由中电光伏（CSUN）的赵建华博士发明。SE 电池的主要特点是金属化区域磷高浓度掺杂，光照区域磷低浓度掺杂。金属化区域浓扩散区结深大，烧结过程中金属等杂质不易进入耗尽区形成深能级，反向漏电小...