◆主旨微機電系統技術（MEMS）結合機械、電機、電子、光電、通訊、材料、控制、化學、生醫等整合性技術，利用微小化科技提升產品性能、品質...
MEMS微传感器的工作原理(1)Agenda微传感器的概念微传感器的分类基本敏感原理介绍微传感器的实例微传感器的概念微传感器：基于MEMS...
