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标签“MEMS”的相关文档，共22条

SU8胶及其在MEMS中的应用
SU8胶及其在MEMS中的应用
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清华大学MEMS课程讲义
清华大学MEMS课程讲义
2024-12-03677.38 MB14
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MEMS压力传感器原理与应用简介锈钢板
主要内容•1.什么MEMS压力传感器•2.压力传感器的发展历程•3.MEMS压力传感器原理与结构3.1硅压阻式MEMS压力传感器3.2硅电容式MEMS压力传感...
2024-11-18662.22 MB13
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MEMS和微系统概述
MEMS和微系统概述工学院机械系张晓蕾目录一．MEMS的定义及组成二．MEMS的发展史三．MEMS的特点四．典型MEMS器件及应用一尺之锤，日取其半，...
2024-11-181079.1 MB5
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MEMS加速度计的原理及运用
MEMS加速度计的原理及运用高鹏黄国胜2006．12.19目录1.MEMS加速度计基本原理分析1.1MEMS简介1.2微加速度计的类型1.3差分电容式加速度计的结...
2024-11-1851285.58 KB29
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2024年汽车MEMS传感器市场前景分析
2024年汽车MEMS传感器市场前景分析1.引言随着智能化和自动化技术的发展，汽车MEMS（微电子机械系统）传感器在汽车行业中的应用越来越广泛。...
2024-11-1385122.44 KB9
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2024年汽车MEMS压力传感器市场前景分析
2024年汽车MEMS压力传感器市场前景分析简介汽车MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems）压力传感器是一种用于测量汽车系统中压力变化的微...
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微机电系统MEMS研究现状及展望概要
微机电系统(MEMS研究现状及展望张贵钦福州大学机械系,福建福州350002摘要:主要综述了微机电系统(MEMS领域所涉及的微材料、微机械学、微细加...
2024-11-139562.11 KB1
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梳状音叉MEMS陀螺非随机误差分析
第35卷第6期电子科技大学学报Vol.35No.62006年12月JournalofUniversityofElectronicScienceandTechnologyofChinaDec.2006梳状音叉MEMS陀螺...
2024-11-1182225.3 KB15
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MEMS陀螺仪
MEMS陀螺仪传感器北京北斗时代科技发展有限公司010-52823686转806MEMS简介MEMS是微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems）的英文缩...
2024-11-10734.92 MB5
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MEMS惯性器件
��...
2024-11-101095.88 MB13
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MEMS应用
MEMS的应用MEMS的应用MEMSMEMS的应用的应用MEMSMEMS的封装的封装6.1MEMS的应用现状——已形成可用性产品，主要是微传感器、微执行器等...
2024-11-101877 MB15
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MEMS原理-06讲述
MEMS原理KunmingUniversityofScienceandTechnologyKunming,ChinaOctober,2014索春光suochunguang@126.com第一页，共四十九页。06MEMSMateri...
2024-11-0917818.49 MB18
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MEMS陀螺仪精讲
MEMS陀螺仪第一页，共二十页。关于MEMS陀螺仪的探讨一、陀螺仪发展历程二、MEMS陀螺仪原理及分类三、MEMS陀螺仪的应用四、关于MEMS陀螺仪的...
2024-11-09121310.89 KB7
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MEMS光开关讲述
MEMS光开关第一页，共二十八页。目录MEMS光开关的研究背景1光开关以及MEMS光开关的概念光开关以及MEMS光开关的概念2MEMS光开关的分类及原理...
2024-11-09563.2 MB27
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MEMS加工技术及其工艺设备
1MEMS加工技术及其工艺设备童志义MEMS是微电子技术与机械，光学领域结合而产生的，是20世纪90年代初兴起的新技术，是微电子技术应用的又一...
2024-11-0713026.22 KB19
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MEMS湿法腐蚀工艺和过程
第8章MEMS湿法腐蚀工艺和过程DavidW.Burns摘要：通过光刻胶或硬掩膜窗口进行的湿法化学腐蚀在MEMS器件制造的许多工艺过程中大量存在。本章...
2024-11-07170307.61 KB1
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微机电系统技术(MEMS)结合机械
◆主旨微機電系統技術（MEMS）結合機械、電機、電子、光電、通訊、材料、控制、化學、生醫等整合性技術，利用微小化科技提升產品性能、品質...
2024-11-0614223.04 KB13
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第十五章MEMS传感器讲述课件
第十五章MEMS传感器讲述课件目录•MEMS传感器概述•MEMS传感器的原理与结构•MEMS传感器的制造工艺•MEMS传感器的性能参数•MEMS传感器的优...
2024-11-051792.69 MB21
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第8章MEMS湿法腐蚀工艺和过程DavidW.Burns摘要：通过光刻胶或硬掩膜窗口进行的湿法化学腐蚀在MEMS器件制造的许多工艺过程中大量存在。本章...
2024-11-0361304.66 KB20
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