一、硅单晶中氧、碳的分布情况1、氧：在硅单晶中，以间隙氧的形式存在（1）硅中氧的含量：直拉单晶硅：4×1017～3×1018原子/cm3多晶硅：1016～1017原子/cm3（2）最大溶解度：熔硅：2.2×1018原子/cm3固体硅：2.75×10...

时间:2024-10-20 13:24栏目:高等教育